WO2025139725A1 一种功能多晶硅隧穿氧化硅钝化接触结构及其制备方法 （中国科学院宁波材料技术与工程研究所）.docxVIP

(12)按照专利合作条约所公布的国际申请

(19)世界知识产权组织国际局

(43)国际公布日

2025年7月3日(03.07.2025)WIPOIPCT

(10)国际公布号

WO2025/139725A1

(51)国际专利分类号：

H10F10/10(2025.01)

(21)国际申请号：PCT/CN2024/137736

(22)国际申请日：2024年12月9日(09.12.2024)

(25)申请语言：中文

(26)公布语言：中文

(30)优先权：

202311841918.42023年12月29日(29.12.2023)CN

(71)申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所(NINGBOINSTITUTEOFMATERIALSTECHNOLOGYANDENGINEERING,CHINESEACADEMYOFSCIENCES)[CN/CN];中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。

(LIU,Zunke);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。曾俞衡(ZENG,Yuheng);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。王若伊(WANG,Ruoyi);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。周鸿凯(ZHOU,Hongkai);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。杨阵海(YANG,Zhenhai);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。刘伟(LIU,Wei);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。

廖明墩(LIAO,Mingdun);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。

(74)代理人：宁波甬致专利代理有限公司(NINGBOWITSIPSERVICESCO.,LTD.);中国浙江省宁波市鄞州区学士路298号科技局裙楼1楼科技综合服务中心315100(CN)。

(72)发明人：叶继春(YE,Jichun);中国浙江省宁波市镇海区庄市大道519号315201(CN)。刘尊珂

(81)指定国(除另有指明，要求每一种可提供的国家保护):AE,AG,AL,AM,AO,AT,AU,AZ,BA,BB,BG,

(54)Title:FUNCTIONALPOLYCRYSTALLINESLICONTUNNELOXIDEPASSIVATEDCONTACTSTRUCTUREANDPREPARATIONMETHODTHEREFOR

(54)发明名称：一种功能多晶硅隧穿氧化硅钝化接触结构及其制备方法

I图1]

WO2025/139725A1(57)Abstract:Providedinthepresentinventionareafunctionalpolycrystallinesilicontunneloxidepassivatedcontactstructure(TOPCon)andapreparationmethodtherefor.Thefunctionalpolycrystallinesilicontunneloxidepassivatedcontactstructurecomprisesacrystallinesiliconsubstrate,nanosiliconoxideandafunctionalpolycrystallinesiliconstructurewhicharearrangedinastackedmannerinsequence,whereinthefunctionalpolycrystallinesiliconstructureiscomposedofacarbonandnitrogenco-dopedpolycrystallinesiliconlayer,orisformedbymeansofthealternatelaminationofacarbon-dopedpolycrystllinesiliconlayerandanitrogen-dopedpolycrystalline