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多边形微腔激光器和微腔滤波器的研究

一、研究背景与意义

随着现代电子技术和通信技术的迅猛发展，对高速、高频、高品质光信号处理的需求与日俱增。微腔光学凭借其小体积、高品质因子、易集成等显著特点，成为高速通信、光子计算等前沿领域的研究焦点之一。在微腔光学体系中，多边形微腔激光器和微腔滤波器作为关键的光子器件，其研究对于实现高性能光子器件具有举足轻重的意义。

微腔光学的兴起，源于对光与物质相互作用在微观尺度下精确调控的追求。传统光学器件在尺寸缩小过程中面临诸多挑战，如模式限制、损耗增加等，而微腔结构能够有效地将光场限制在极小的空间范围内，极大地增强了光与物质的相互作用，为实现新型光电器件和光信号处理功能提供了可能。

多边形微腔激光器相较于传统的圆对称微腔激光器，如微盘激光器，具有独特的优势。圆对称微腔激光器往往缺乏定向的激光输出，通常需要借助输出波导与微盘实现消逝波耦合，或者通过改变微盘的对称性来达成定向输出，这无疑增加了器件的复杂性和制备难度。而多边形微腔，如正三角形、正方形、长方形、六边形等，不仅能支持高Q值的类回音壁模式，而且由于其不具备圆对称性，模式特性更有利于实现简单且高效的定向光输出。这种特性使得多边形微腔激光器在光子电路、生物医学等众多领域展现出广阔的应用前景。

在光子电路中，高效的定向输出激光器是构建高速、低功耗光通信链路和光信号处理单元的核心元件。多边形微腔激光器能够以更小的尺寸实现与其他光电子器件的集成，有效提升了光子电路的集成度和性能。在生物医学领域，其小体积和特定的发光特性可用于生物传感、细胞成像等应用，为疾病诊断和治疗提供了新的技术手段。

微腔滤波器作为光信号处理中的关键器件，在现代通讯系统中承担着信号频率选择和滤波的重要任务。传统滤波器，如RLC滤波器、激励谐振器、微带线滤波器等，其性能受到制造工艺等多种因素的制约。而基于微纳加工技术结合谐振腔理论的微腔滤波器，具有高品质因数、低损耗和高频率响应等优势，能够在微观尺寸下实现更为精准的光信号滤波功能。正多边形谐振腔滤波器由于其独特的对称性，可实现多种模式谐振，能在更宽的频带内工作，且在设计上更易于优化，为满足现代通信系统对高性能滤波器的需求提供了新的途径。

二、多边形微腔激光器的物理机制研究

2.1模式特性分析

多边形微腔的模式特性是理解其激光产生机制的基础。以二维正三角形、正方形和长方形光学微腔为例，通过理论分析和数值模拟可以得出其模式场分布和模式波长的解析解。在对称的圆形微腔中，圆周对应纵模的场分布，横模场分布对应径向光场分布，圆周上场分布的包络呈均匀状态。然而，在正方形光学微腔中，场分布同时受到纵模和横模场分布的调制，正方形边界上场分布的包络曲线与横模场分布相关。

通过时域有限差分数值模拟发现，在正方形光学微腔某一边的中点连接一输出波导时，一阶横模的Q值降低幅度较小，且能够高效地从输出波导耦合输出，而基横模的Q值则会大幅减少。这一结果表明，在正方形微腔边界的中点引入输出波导，不仅能够实现定向输出，还具备进一步的选模功能，有利于激光器的单模工作。对于折射率为3.2、边长为20微米的正方形光学微腔，当中心点处的输出波导宽度达到2微米时，模拟得到的高Q值模式的Q值仍可大于104。

2.2激光产生原理

多边形微腔激光器的激光产生过程基于受激辐射原理。在有源区中，通过注入电流或光泵浦等方式实现粒子数反转分布，当满足一定的阈值条件时，腔内的光子在增益介质的作用下不断得到放大，形成稳定的激光振荡。由于多边形微腔的特殊结构，光在腔内传播时会经历多次反射和干涉，只有满足特定相位条件的模式才能形成谐振，从而产生激光输出。

以InGaAsP/InP材料体系的多边形微腔激光器为例，利用普通边发射半导体激光器的外延片，成功研制出室温连续激射的正三角形和正方形微腔激光器。边长为10-30微米的正三角形InGaAsP/InP微腔激光器以及边长为20微米的正方形InGaAsP/InP微腔激光器均实现了室温连续激射，其中正方形微腔激光器的阈值电流为11mA。

2.3光谱特性研究

多边形微腔激光器的光谱特性与其模式结构密切相关。通过实验测量和理论计算，可以深入研究其光谱特性，如激光波长、模式间隔、边模抑制比等参数。研究发现，多边形微腔激光器的模式间隔可以通过改变微腔的几何形状和尺寸进行调节。例如，采用方向腔结构的双模方形微腔激光器，其波长间隔可从0.18nm调谐到0.1nm，并且强度比小于4dB。与传统的FP腔相比，正方形微腔的相邻基横模和一阶横模的场分布对模式指数不同，更易于实现稳定的双模输出，且同一谐振腔中产生的双模波长间隔对环境波动不敏感。

三、多边形微腔激光器的制备及性能研究

3.1制备流程