宿迁百级洁净室施工方案.doc

宿迁百级洁净室施工方案

一、工程概况

本工程为宿迁某高新技术企业百级洁净室项目，洁净区面积约800㎡，主要用于半导体材料精密加工。洁净室设计执行ISO14644-1:2015标准，洁净度等级达到ISO5级（静态条件下≥0.5μm粒子≤3520个/m3），同时满足GB50073《洁净厂房设计规范》及GB50591《洁净室施工及验收规范》最新要求。工程包含洁净装饰系统、HVAC系统、给排水系统、电气系统及工艺管道安装，总工期90天。

二、施工部署

2.1施工流程规划

采用三区五段流水施工法，划分为：

预处理区（含更衣、缓冲、风淋室）

核心洁净区（百级层流罩区、ISO5级操作间）

辅助功