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网址：电邮：hrbengineer@163.com圆园员8年第2期

一种四倍频晶体温控箱的温度场分析

赵运武，朱建平，连克难，文兴全

（中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900）

摘

摘要：四倍频晶体温度变化0.5℃会导致其效率降低20%，因此必须精确控制其温度。文中利用有限元软件ANSYS分析了一种四倍频晶体温控箱的温度场，计算了其大温差调节时温度场的变化过程，模拟了晶体瞬时温度波动的调节过程，并分析了水温波动对晶体框组件温度场的影响。分析结果表明温控箱能达到控温精度要求。

关键字：四倍频晶体；温控箱；有限元；温度场

中图分类号：TN248.1 文献标志码：A 文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园员8）02原园139原园3

ThermalFieldAnalysisofTemperatureControlSystemforFHGCrystalZHAOYunwu,ZHUJianping, LIANKenan, WENXingquan(InstituteofMechanicalManufacturingTechnologyofCAEP,Mianyang621900,China)

Abstract:TheefficiencyofFHGcrystalwillreducetwentypercentasitstemperaturechanges0.5Celsiusdegree,sothetemperaturemustbecontrolledaccurately.ThethermalfieldofthetemperaturecontrolsystemforFHGcrystalisanalyzedbytheFEMsoftwareinthispaper.Thechangingprocessofthermalfieldinregulationoflargetemperaturedifferenceiscalculated,theregulatoryprocessoftheinstantaneoustemperatureundulatingissimulated,andtheinfluencetothermalfieldofthecrystalframebytheundulatingofwatertemperatureisanalyzed.Theresultsindicatethatthetemperatureprecisionrequirementofcontrollingcanbeachieved.

Keywords:FHGcrystal;temperaturecontrolsystem;FEM;thermalfield

图1温控箱结构图

图1温控箱结构图

四倍频晶体对温度变化十分敏感，温度变化0.5益会导致其效率降低20%[1]，因此必须严格控制其温度变化及温度梯度分布。四倍频晶体工作时需要置于温控箱中，温控箱的温度控制精度指标如下：1）温度可在20耀

35益之间调节，平衡时间小于

12h；2）温度控制精度臆依0.1益；3）温度的面均匀性臆依0.1益；4）恒温状态下出现温度扰动时，重新平衡时间小于1h。

温控箱周围的环境温度在

20耀23益之间波动。拟采用的控温方式为水浴控温，利用铜管道内循环的恒温水调节其内部温度场，并利用隔热材料制造的外

壳减小其与外界的热量交换，从而保证温控箱的温度场满足稳定性和均匀性的要求。为了在设计时分析温控箱的控温能力并对结构进行优化，利用有限元软件ANSYS对温控箱的温度场进行了模拟。

温控箱的结构

温控箱的结构如图1所示。其主要由外壳、真空窗口、前后保温段、晶体框和保温管道组成。由恒温水源产生的温度变化范围为依0.1益的恒温水流经温控箱内的管道系统，通过与管道壁的对流换热对温控箱的温度场进行

调节。温控箱的传热方式主要有:保温管道与前后保温段、

晶体框之间的热传导；内部各部件之间的辐射以及与内部空气的对流换热；外壁与外部空气的对流换热等。最终温控箱内部的温度会不断接近水温直至平衡，通过调节水温即能得到需要的温度场。

温控箱外壳材料由两层1mm厚的钢板，中间填充厚度为20mm的聚氨酯泡沫保温材料构成，晶体框和前后保温段缠绕准6的紫铜水管。紫铜的导热系数大，能提高温