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TOC\o1-3\h\z\u182822026年车规级碳化硅MOS项目建议书 3
6282一、项目背景 3
258201.1行业现状及发展趋势 3
316801.2碳化硅MOS的应用前景 4
211761.3项目的重要性及必要性 5
3419二、项目目标 7
101132.1项目总体目标 7
83962.2短期目标(2023-2025年) 8
112352.3长期目标(至2026年) 10
31531三、项目内容 11
315813.1碳化硅MOS的制造工艺流程 11
126943.2技术研发重点及
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