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硅基集成无源滤波器的设计与制作：原理、技术与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子系统不断追求高性能、小型化、集成化的发展进程中，硅基集成无源滤波器凭借其独特优势，成为了关键的电子元件，在众多领域发挥着不可或缺的作用。随着半导体制造技术从亚微米量级向纳米量级的飞速跨越，主动式电子元件的集成度实现了大幅提升。与此同时，为了适配主动式元件性能的提升，对其配套的无源元件在性能、尺寸和集成度等方面也提出了更为严苛的要求。

在通信领域，5G乃至未来6G通信技术的蓬勃发展，对射频前端模块的性能提出了前所未有的挑战。通信频段不断向毫米波甚至太赫兹波段拓展，以获取更为丰富的频谱资源，这就