MSA显微式激光测振仪 激光测振仪 MSA-600 MSA-600-V 说明书.pdf

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MSA-600MicroSystemAnalyzer

表面形貌、动态运动分析及可视化是MEMS器件等微型结构的测试和研发的关键,

这对于验证有限元算法、确定串扰效应和测量表面形变是必不可少的。

MSA-600显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体

的光学测量工作站。

高性能激光多普勒测振仪测量速度快,实时显示测量数据,位移分辨率达亚pm级。

基于频闪法的面内振动测量模块,能直观生动地显示结构面内振动特性。基于白光干涉

原理的形貌测量模块,可在几秒钟内提供数以百万计的

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