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解析CVD金刚石单晶生长机制与性能表征体系构建

一、引言

1.1研究背景与意义

金刚石，作为自然界中硬度最高的材料，同时具备高导热率、高化学稳定性、优异的光学性能以及独特的电学性质，自被人类认识以来，便在众多领域展现出巨大的应用潜力。天然金刚石的稀缺性以及开采难度，严重限制了其大规模应用。随着材料科学的不断进步，化学气相沉积（ChemicalVaporDeposition，CVD）技术应运而生，为高质量、大尺寸金刚石单晶的制备提供了可行途径。

在高端工业领域，CVD金刚石单晶凭借其卓越的硬度和耐磨性，成为制造超精密加工工具的理想材料，可用于航空航天、汽车制造等领域中高精度零部件的加工