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质量流量控制器日立金属
FC-PAR78XX/FC-DNR78XX系列
数字通讯金属密封质量流量控制器、质量流量计
广泛应用于广泛应用于CVDCVD、PVDPVD,扩散扩散、刻蚀等工艺刻蚀等工艺，在工艺改良在工艺改良
设备升级中，AERA数字MFC可以提供多样、灵活、有效
的应用。在业界有优秀的声誉和可靠性表现的数字控制
MFC目前已有超过10万只在各行业提供者服务。
▍特点
◆◆极好的性
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