亚微米球形硅微粉的制备技术研究进展_李晓冬.pdfVIP

DOI:10.16635/j.cnki.1003-5311.2020.07.007

新技术新工艺年第期

２０２０７

亚微米球形硅微粉的制备技术研究进展＊

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李晓冬曹家凯张建平姜兵胡世成刘杰

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江苏联瑞新材料股份有限公司江苏连云港南京理工大学化工学院国家特种超细粉体

１．２２２０００２．

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工程技术研究中心江苏南京２１００９４

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摘要对国内外亚微米球形二氧化硅微粉以下简称亚微米球形硅微粉的制备技术进行了综述

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重点描述了江苏联瑞新材料股份有限公司通过与南京理工大学开展紧密产学研合作自主创新对亚微米

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球形硅微粉的制备机理进行了研究建立了亚微米球形硅微粉制备过程中炉膛内的温度场及球化过程模

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型研究了一种制备亚微米球形硅微粉的新方法分析结果表明制备的产品具有无定型含量高表面光

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滑分散性好粒度分布适当和纯度高等特点并已成功进行数吨级大批量工业化生产此方法及其产品应

用前景广阔。

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关键词亚微米球形硅微粉粉末技术火焰法特种功能无机非金属材料集成电路技术

中图分类号：文献标志码：

ＴＱ１２７．２Ａ

ＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｒｅｓｓｉｎＰｒｅａｒａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｉｕｅｏｆＳｕｂｍｉｃｒｏｎＳｈｅｒｉｃａｌＳｉｌｉｃａＰｏｗｄｅｒｓ

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