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2025及未来5年中国硬掩膜材料行业市场深度分析及投资规划建议报告.docx

2025及未来5年中国硬掩膜材料行业市场深度分析及投资规划建议报告.docx

    2025及未来5年中国硬掩膜材料行业市场深度分析及投资规划建议报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

    一、中国硬掩膜材料产业图谱重构与价值链跃迁路径 5

    1.1全球供应链变局下国产替代的临界点识别 5

    1.2从材料参数定义到工艺话语权的产业链反向主导机制 8

    1.3半导体前道工艺升级对硬掩膜性能指标的倒逼式迭代 12

    二、技术代际演进中的材料体系突破窗口期研判 15

    2.1原子层沉积兼容性与高纵横比图形保形覆盖的物理极限挑战 15

    2.2多元复合硬掩膜在EUV及High-NA光刻中的协同增强效应 17

    2.3超宽禁带材

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