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2025年（微电子科学与技术）微机电系统设计试题及答案

分为第I卷（选择题）和第Ⅱ卷（非选择题）两部分，满分100分，考试时间90分钟。

第I卷（选择题共40分）

答题要求：请将正确答案的序号填在括号内。

1.微机电系统的核心技术是（）

A.微机械加工技术B.微电子技术C.传感器技术D.微能源技术

答案：A

2.以下哪种材料常用于微机电系统的结构层（）

A.硅B.铜C.铝D.铁

答案：A

3.微机电系统中微传感器的作用是（）

A.执行特定任务B.感知外界信息C.提供动力D.数据处理

答案：B

4.微机电系统的尺寸通常在（）

A.毫米级B.微米级C.纳米级D.厘米级

答案：B

5.微机电系统中微执行器的工作原理不包括（）

A.电磁驱动B.热驱动C.化学驱动D.光驱动

答案：C

6.微机电系统设计中，以下哪种设计方法可提高系统可靠性（）

A.增加复杂度B.采用冗余设计C.减少功能D.降低精度

答案：B

7.微机电系统中的微流体系统主要用于（）

A.信息传输B.能量转换C.物质传输与控制D.信号放大

答案：C

8.微机电系统设计时，需要考虑的环境因素不包括（）

A.温度B.湿度C.海拔高度D.光照强度

答案：D

9.微机电系统的微结构设计主要考虑因素有（）

A.形状B.尺寸C.材料特性D.以上都是

答案：D

10.微机电系统中微光学元件可用于（）

A.成像B.光通信C.光传感D.以上都是

答案：D

11.微机电系统设计中，如何优化微机械结构的力学性能（）

A.改变材料B.调整结构形状C.增加结构厚度D.A和B

答案：D

12.微机电系统的微能源技术不包括（）

A.微电池B.微发电机C.微太阳能电池D.微芯片

答案：D

13.微机电系统设计时，对于微传感器的灵敏度要求是（）

A.越高越好B.越低越好C.适中即可D.无要求

答案：A

14.微机电系统中的微机电一体化系统是指（）

A.多种微机电部件集成B.单一微机电部件C.无机电部件结合D.仅微传感器

答案：A

15.微机电系统设计中，微执行器的响应速度主要取决于（）

A.驱动方式B.材料质量C.尺寸大小D.环境温度

答案：A

16.微机电系统的微纳制造技术不包括（）

A光刻技术B.蚀刻技术C.焊接技术D.外延生长技术

答案：C

17.微机电系统设计时，如何提高微系统的分辨率（）

A.减小微结构尺寸B.增加微结构尺寸C.改变微结构材料D.降低微系统精度

答案：A

18.微机电系统中微机电陀螺仪主要用于测量（）

A.角速度B.加速度C.压力D.温度

答案：A

19.微机电系统设计中，微机电系统与外界环境的接口设计主要考虑（）

A.信号传输B.能量交换C.物质交换D.以上都是

答案：D

20.微机电系统的微机电系统设计流程不包括（）

A.需求分析B.方案设计C.产品销售D.制造与测试

答案：C

第Ⅱ卷（非选择题共60分）

1.简答题（共20分）

-序号1：简述微机电系统中微传感器的主要分类及各自特点。（5分）

___

答案：微传感器主要分为物理传感器、化学传感器和生物传感器。物理传感器利用物理效应感知外界物理量，如压阻式传感器利用压力改变电阻测量压力。化学传感器通过化学反应检测化学物质，如气体传感器检测特定气体浓度。生物传感器基于生物分子识别原理，用于检测生物物质，如检测血糖的生物传感器。

-序号2：在微机电系统设计中，微执行器的选型需要考虑哪些因素？（5分）

___

答案：选型需考虑驱动方式，如电磁、热、压电等，要与系统匹配；输出力和行程要满足工作要求；响应速度要快以适应系统节奏；精度要高保证工作准确性；可靠性要好，能稳定工作；功耗要低，减少能源消耗；尺寸要合适便于集成；成本要合理，在预算范围内。

-序号3：微机电系统设计如何考虑微机械结构与微电子电路的集成？（5分）

___

答案：要考虑信号传输问题，确保微机械结构输出信号能准确传输到微电子电路处理。需关注电源供应，为两者提供合适电力。还要考虑电磁兼容性，避免相互干扰。同时要优化布局，使结构和电路紧凑合理，减少空间占用，提高整体性能和集成度。

-序号4：简述微机电系统设计中微流