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2025年（微电子科学与技术）微机电系统基础试题及答案

第I卷（选择题共40分）

答题要求：请将正确答案的序号填在括号内。

1.微机电系统的核心技术是（）

A.微传感器技术B.微处理器技术C.微机械加工技术D.微执行器技术

2.以下哪种材料不属于微机电系统常用材料（）

A.硅B.玻璃C.陶瓷D.塑料

3.微机电系统中微传感器的作用是（）

A.对环境信息进行采集B.对信号进行放大C.对数据进行处理D.对系统进行控制

4.微机电系统中微执行器的主要功能是（）

A.产生运动B.存储数据C.传输信号D.转换能量

5.微机电系统的尺寸通常在（）

A.毫米级B.微米级C.纳米级D.厘米级

6.以下哪种微机械加工技术适合制作高深宽比的微结构（）

A.光刻技术B.蚀刻技术C.微机电系统封装技术D.深反应离子刻蚀技术

7.微机电系统中微传感器的灵敏度是指（）

A.输出信号与输入信号的比值B.输出信号的变化量C.输入信号的变化量D.系统的响应时间

8.微机电系统中微执行器的驱动力主要来源于（）

A.电磁力B.重力C.摩擦力D.弹力

9.微机电系统的发展趋势不包括（）

A.微型化B.集成化C.复杂化D.智能化

10.微机电系统在以下哪个领域应用较少（）

A.生物医学B.航空航天C.农业生产D.传统机械制造

答案：1.C2.D3.A4.A5.B6.D7.A8.A9.C10.D

第I卷（选择题共40分）（续）

11.微机电系统中微传感器的线性度是指（）

A.输出信号与输入信号成线性关系的程度B.输出信号的最大值C.输入信号的最小值D.系统的分辨率

12.微机电系统中微执行器的响应速度主要取决于（）

A.材料特性B.结构设计C.驱动方式D.以上都是

13.以下哪种微机电系统封装技术可以提高系统的散热性能（）

A.塑料封装B.陶瓷封装C.倒装芯片封装D.散热片封装

14.微机电系统中微传感器的噪声主要来源于（）

A.电路噪声B.环境噪声C.材料噪声D.以上都是

15.微机电系统在消费电子领域的应用不包括（）

A.智能手机B.平板电脑C.传统电视机D.智能手表

16.微机电系统中微执行器的行程是指（）

A.执行器能够移动的最大距离B.执行器的工作频率C.执行器的功耗D.执行器的尺寸

17.以下哪种微机电系统测试方法可以用于检测微结构的力学性能（）

A.光学显微镜B.扫描电子显微镜C.原子力显微镜D.动态测试系统

18.微机电系统中微传感器的迟滞现象是指（）

A.正反行程输出信号不一致的现象B.输出信号随时间变化的现象C.输入信号随时间变化的现象D.系统的稳定性问题

19.微机电系统在工业自动化领域的应用不包括（）

A.机器人B.自动化生产线C.传统机床D.智能传感器网络

20.微机电系统中微执行器的功耗主要取决于（）

A.驱动电压B.驱动电流C.工作时间D.以上都是

答案：11.A12.D13.D14.D15.C16.A17.D18.A19.C20.D

第Ⅱ卷（非选择题共60分）

1.简答题（共20分）

-序号1：简述微机电系统的组成部分及其功能。（5分）

u微机电系统主要由微传感器、微处理器和微执行器组成。微传感器用于采集环境信息，微处理器对采集到的数据进行处理，微执行器则根据处理结果产生相应的运动或操作。/u

-序号2：微机械加工技术有哪些常见的方法？各有什么特点？（5分）

u常见方法有光刻技术、蚀刻技术、微机电系统封装技术等。光刻技术可实现高精度图形制作；蚀刻技术能去除不需要的材料形成微结构；微机电系统封装技术用于保护内部结构并实现与外界的连接。/u

-序号3：微机电系统在生物医学领域有哪些应用？举例说明。（5分）

u如微流控芯片可用于生物样品的分析检测；植入式微机电系统传感器可监测人体生理参数。/u

-序号4：简述微机电系统中微传感器的工作原理。（5分）

u微传感器利用各种物理、化学或生物效应将被测量转换为电信号。如利用压阻效