700C退火下铝调制镍硅锗薄膜的外延生长机理.PDFVIP

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  • 2026-01-22 发布于浙江
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700C退火下铝调制镍硅锗薄膜的外延生长机理.PDF

700C退火下铝调制镍硅锗薄膜的外延生长机理

平云霞王曼乐孟骁然侯春雷俞文杰薛忠营魏星张苗狄增峰张波

MechanismofNiSiGeepitaxialgrowthbyAlinterlayermediationat700C

PingYun-XiaWangMan-LeMengXiao-RanHouChun-LeiYuWen-JieXueZhong-YingWei

XingZhangMiaoDiZeng-FengZhangBo

引用信息Citation:ActaPhysicaSinica,,036801(2016)DOI:10.7498/aps.65.036801

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当期内容Viewtableofcontents:/CN/Y2016/V65/I3

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