TOC\o1-3\h\z\u125152026年第三代半导体碳化硅项目建议书 2
30037一、项目背景及意义 2
5101.1半导体行业的发展趋势 2
31961.2碳化硅在半导体的应用前景 3
246451.3项目的重要性与战略意义 4
15630二、项目目标与愿景 6
185492.1项目短期目标 6
6202.2项目长期愿景 7
152862.3技术创新与产业化的预期成果 9
10043三、项目内容 10
306393.1碳化硅材料的研究与开发 10
4443.2生产工艺与技术的创新 12
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