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微细加工技术特点试题库及答案

一、单项选择题（每题2分，共10题）

1.以下哪种不属于微细加工技术（）

A.光刻B.车削C.蚀刻

答案：B

2.光刻技术中关键的光刻胶作用是（）

A.保护基底B.实现图形转移C.提高硬度

答案：B

3.微细加工精度通常在（）

A.毫米级B.微米级C.厘米级

答案：B

4.蚀刻技术分为（）

A.干法和湿法B.酸性和碱性C.高温和低温

答案：A

5.聚焦离子束加工可用于（）

A.切割B.焊接C.涂覆

答案：A

6.电子束加工的能源是（）

A.电子流B.激光C.离子流

答案：A

7.微细加工中材料去除量（）

A.较大B.较小C.不确定

答案：B

8.光刻中掩膜版的作用是（）

A.承载图形B.反射光线C.散热

答案：A

9.微机电系统（MEMS）常采用（）加工技术

A.铸造B.微细加工C.锻造

答案：B

10.下列属于特种微细加工的是（）

A.电火花加工B.铣削C.钻削

答案：A

二、多项选择题（每题2分，共10题）

1.微细加工技术主要包括（）

A.光刻技术B.蚀刻技术C.电子束加工D.离子束加工

答案：ABCD

2.光刻技术的主要步骤有（）

A.涂胶B.曝光C.显影D.刻蚀

答案：ABC

3.蚀刻技术的优点有（）

A.精度高B.可加工复杂图形C.成本低D.速度快

答案：AB

4.电子束加工的特点包括（）

A.能量密度高B.加工精度高C.可加工多种材料D.无污染

答案：ABC

5.离子束加工可用于（）

A.刻蚀B.镀膜C.表面改性D.切割

答案：ABCD

6.微细加工对材料的要求有（）

A.高纯度B.均匀性好C.硬度低D.韧性好

答案：AB

7.光刻胶的性能要求包括（）

A.感光性B.分辨率C.附着力D.耐蚀刻性

答案：ABCD

8.微纳加工技术在以下哪些领域有应用（）

A.半导体B.生物医学C.航空航天D.光学

答案：ABCD

9.特种微细加工技术包含（）

A.激光加工B.电火花加工C.超声加工D.化学加工

答案：ABC

10.影响微细加工精度的因素有（）

A.设备精度B.环境因素C.工艺方法D.材料特性

答案：ABCD

三、判断题（每题2分，共10题）

1.微细加工只能加工微小尺寸零件。（）

答案：×

2.光刻技术只能用于半导体制造。（）

答案：×

3.干法蚀刻比湿法蚀刻精度低。（）

答案：×

4.电子束加工的能量密度低于激光加工。（）

答案：×

5.微机电系统（MEMS）加工不需要高精度技术。（）

答案：×

6.离子束加工可以实现超精密加工。（）

答案：√

7.光刻胶涂覆厚度对光刻效果无影响。（）

答案：×

8.蚀刻过程中蚀刻液浓度不影响蚀刻效果。（）

答案：×

9.聚焦离子束加工可以实现三维加工。（）

答案：√

10.微细加工中环境温度对加工精度有影响。（）

答案：√

四、简答题（每题5分，共4题）

1.简述光刻技术原理。

答案：光刻技术是通过光刻胶将掩膜版上的图形转移到基底上。先在基底涂光刻胶，经曝光使光刻胶感光，再通过显影去除未感光或感光部分，从而在基底上留下所需图形。

2.电子束加工有哪些优势？

答案：电子束加工能量密度高，能加工难熔金属等多种材料；加工精度高，可实现微细加工；加工过程中热影响区小，对材料损伤小；且可通过计算机控制实现自动化加工。

3.蚀刻技术分为哪几类，各有什么特点？

答案：蚀刻分干法和湿法。干法蚀刻精度高，能加工精细图形，污染小，但设备复杂成本高；湿法蚀刻设备简单、成本低，蚀刻速度快，但精度相对低，可能有侧向腐蚀。

4.微纳加工技术在生物医学领域有哪些应用？

答案：可制造微型生物传感器用于疾病诊断；制备微流控芯片，实现生物样品的分离、检测等；还能制造组织工程支架，促进细胞生长和组织修复。

五、讨论题（每题5分，共4题）

1.讨论光刻技术在集成电路制造中的关键作用。

答案：光刻技术是集成电路制造核心。它决定芯片上晶体管等元件的尺寸和布局，精度影响芯片性能和集成度。通过光刻将设计图形精确转移到硅片，为后续蚀刻、掺杂等工艺奠定基础，推动集成电路不断向更小尺寸、