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电子束概论考核试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每小题2分，共20分。请将正确选项的字母填在括号内）

1.下列哪种装置通常利用热阴极发射电子？

(A)光电倍增管

(B)阴极射线管

(C)场发射显微镜

(D)热离子发射器

2.在电子枪中，控制电子束流强度的主要部件是？

(A)阳极

(B)栅极

(C)灯丝

(D)抽真空系统

3.电子束在真空中运动时，主要受到哪种力的影响？

(A)重力

(B)磁场力

(C)静电力

(D)空气阻力

4.当电子穿过一个不均匀的电场时，其运动轨迹会发生偏转，这种现象称为？

(A)电子透镜效应

(B)电子衍射

(C)电子聚焦

(D)静电偏转

5.在电子显微镜中，通常利用什么来提高电子束的分辨率？

(A)增加电子束流强度

(B)使用可见光照明

(C)利用电磁透镜聚焦

(D)降低环境温度

6.电子束的聚焦原理与光学透镜的聚焦原理在根本上是不同的，其主要区别在于？

(A)电子具有质量而光子没有

(B)电子带负电而光子不带电

(C)电子在电磁场中运动而光子在介质中折射

(D)电磁透镜是利用磁场而光学透镜是利用介质

7.在阴极射线管（CRT）中，电子束偏转线圈的作用是？

(A)产生电子束

(B)加速电子束

(C)控制电子束亮度

(D)使电子束在屏幕上偏转

8.电子束与固体材料相互作用时，主要产生哪些物理现象？（多选，请将正确选项的字母填在括号内）

(A)荧光

(B)透射

(C)散射

(D)电离

9.下列哪种电子束应用主要利用了电子束的“刻蚀”或“烧蚀”能力？

(A)电子显微镜成像

(B)示波器显示

(C)电子束光刻

(D)X射线生成

10.真空电子束设备的真空度要求很高，其主要原因是？

(A)提高电子束速度

(B)防止电子与空气分子碰撞而损失能量或改变方向

(C)增加电子束与样品的相互作用

(D)节省能源

二、填空题（每空1分，共15分。请将答案填写在横线上）

1.利用加热金属丝发射电子的现象称为________效应。

2.电子在电场中加速时，其动能增加，速度________（填“增加”、“减少”或“不变”）。

3.电磁透镜是利用________场使电子束偏转或聚焦的装置。

4.电子束在穿过样品时，会发生散射和吸收，这是电子显微镜成像的________原理基础。

5.阴极射线管（CRT）主要由电子枪、______和荧光屏三部分组成。

6.电子束的偏转灵敏度通常用偏转一定角度所需的________来衡量。

7.在电子束光刻工艺中，电子束刻蚀技术可以用来制作非常精细的________。

8.________是指电子束在垂直于其运动方向上偏转1厘米所需的偏转线圈电流大小，是衡量偏转系统性能的参数。

9.为了使电子束能够射出并聚焦，电子枪通常需要提供一个________环境。

10.电子束与物质相互作用产生的二次电子主要用于________成像模式。

三、判断题（每小题1分，共10分。请将“正确”或“错误”填在括号内）

1.所有电子束设备都需要使用强磁场来聚焦电子束。（）

2.光电子发射是电子束应用的典型例子，它利用了光电效应。（）

3.热阴极发射电子的效率通常高于冷阴极（场发射）。（）

4.电子束在真空中传播时不会损失能量。（）

5.静电偏转系统比电磁偏转系统具有更高的分辨率。（）

6.透射电子显微镜（TEM）利用电子束穿透样品薄片成像。（）

7.扫描电子显微镜（SEM）主要利用二次电子来获得样品表面的高分辨率图像。（）

8.电子束光刻技术是现代集成电路制造中的关键步骤之一。（）

9.任何类型的电子束设备都可以在常压环境下工作。（）

10.电子束与物质相互作用时，产生的背散射电子可以提供样品的成分信息。（）

四、简答题（每题5分，共20分。请简要回答下列问题）

1.简述热阴极电子枪的工作原理。

2.说明电磁透镜如何实现电子束的聚焦。

3.简述电子束偏转的基本方法。

4.与光学显微镜相比，电子显微镜（以TEM为例）在分辨率上具有优势的原因是什么？

五、计算题（共10分）