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基于激光场分布的纳秒激光诱导亚波长条纹机理的研究

摘要

本研究聚焦于纳秒激光诱导亚波长条纹的形成机理。通过构建理论模型，结合数值模拟与实验验证，深入探究激光场分布、表面等离子体波以及多种参数对亚波长条纹形成的影响。研究表明，纳秒激光辐照下，表面等离子体波与激光场相互作用在亚波长条纹形成中起关键作用，且激光波长、能量密度及颗粒结构等参数对条纹特性有显著影响。本研究为纳秒激光在微纳加工领域的应用提供了理论支持。

关键词

纳秒激光；亚波长条纹；激光场分布；表面等离子体波

一、引言

1.1研究背景

激光诱导表面周期性条纹（Laser-InducedPeriodicSurfaceStructures，LIPSS）作为激光微纳加工中极具特色的微纳结构，自1965年被发现以来，始终是激光加工领域的研究焦点。早期研究多采用长脉冲激光，形成的LIPSS通常为波长量级。随着超短脉冲激光器的发展，飞秒激光诱导的表面条纹结构周期常为亚波长量级（小于入射激光波长λ）。与飞秒激光相比，纳秒激光由于脉宽较长，传统观点认为其难以诱导出亚波长条纹。然而，近年来相关研究表明，在特定条件下，纳秒激光能够在材料表面诱导出亚波长周期性条纹，这一发现拓展了纳秒激光在微纳加工领域的应用前景。深入研究纳秒激光诱导亚波长条纹的机理，对于优化激光微纳加工工艺、提升加工精度和效率具有重要意义。

1.2激光诱导表