原创力文档Shibaura芝浦机电集团公司设备系列CDE series, SC300-HT series, SC300-CC series FC series, MC150 series, ARES series, TFC-6500, TFC-9300, TFC-6700 说明书.pdf
芝浦机电集团公司
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DeviceProcess等向性蚀刻设备（CDEseries）
高温磷酸蚀刻设备（SC300-HTseries）
WaferProcess单片硅片清
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