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硅基单片光电集成技术：原理、进展与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，集成电路作为现代电子系统的核心，其性能的提升对于推动整个信息产业的进步至关重要。在过去的几十年里，集成电路技术遵循摩尔定律，不断缩小晶体管尺寸，提高芯片的集成度和性能。然而，进入后摩尔时代，集成电路面临着诸多瓶颈，其中电互连问题成为限制其进一步发展的关键因素。

随着芯片集成度的不断提高，芯片内部的电互连长度急剧增加，信号传输延迟和功耗大幅上升。电信号在金属互连线中传输时，会受到电阻、电容和电感等因素的影响，导致信号衰减、失真和延迟。当信号传输速率超过一定阈值时，电互连引起的延时和功耗问题变得尤为突