JJF(浙) 1210-2025 激光平直度测量仪校准规范.docxVIP

浙江省地方计量技术规范

JJF（浙）1210—2025

激光平直度测量仪校准规范

CalibrationSpecificationfor

LaserFlatnessandStraightnessMeasuringSystems

2025–07–20发布 2025–10–20实施

浙江省市场监督管理局发布

JJF（浙）1210-2025

JJF（浙）1210-2025

JJF（浙）1210—2025激光平直度测量仪校准规范

JJF（浙）1210—2025

CalibrationSpecificationforLaserFlatnessandStraightnessMeasuringSystems

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归 口单位：浙江省市场监督管理局主要起草单位：浙江省质量科学研究院

参加起草单位：杭州徕之测量技术有限公司

浙江理工大学

本规范委托浙江省质量科学研究院负责解释

本规程主要起草人：

陈宁（浙江省质量科学研究院）王瑛辉（浙江省质量科学研究院）朱进（浙江省质量科学研究院）

参加起草人：

沈 斌（杭州徕之测量技术有限公司）祖洪飞（浙江理工大学）

郭钢祥（浙江省质量科学研究院）卢 歆（浙江省质量科学研究院）

目 录

引言 （Ⅱ）

1 范围 （.1）

2 引用文件 （.1）

3 概述 （1）

计量特性 （1）

位移示值误差 （2）

位移重复性 （2）

倾角示值误差 （2）

校准条件 （2）

5.1环境条件 （..2）

5.2测量标准及其他设备....................................................................................................（..2）

校准项目和校准方法 （2）

位移示值误差 （.2）

位移重复性 （3）

倾角示值误差 （.4）

校准结果 （4）

复校时间间隔 （.4）

附录A 激光平直度度测量仪校准原始记录格式 （.5）

附录B 激光平直度测量仪校准证书内容（内页） （7）

附录C 位移示值误差校准结果测量不确定度评定示例 （8）

附录D 倾角示值误差校准结果测量不确定度评定示例 （11）

I

JJF（浙）1210-2025

JJF（浙）1210-2025

引言

JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011《通用计量术语及定义》、JJF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》和JJF1094-2002《测量仪器特性评定》共同构成支撑本规范制定工作的基础性系列规范。

本规范为首次发布。

II

激光平直度测量仪校准规范

范围

本规范适用于基于位置传感器或图像传感器原理且位移分辨力不高于0.1μm的激光平直度测量仪的校准。

引用文件

本规范引用下列文件：

JJF1071-2010国家计量校准规范编写规则

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

概述

激光平直度测量仪通常包括激光发射器、接收靶以及操作终端，以激光发射器发射出准直激光束的光轴为空间直线基准，通过位置传感器或图像传感器（通常称作接收靶）测出落在接收靶靶标上的光斑的能量质心的位置，操作终端用于数据采集和数据处理，在各个测量点上采集的数据通过测量软件算法可实现直线度，平面度，垂直度，平行度等测量。其结构如图1所示。

计量特性

激光发射器2.接收靶3.操作终端

图1激光平直度测量仪结构示意图

1

位移示值误差

位移示值最大允许误差：±（0.001mm+1%H），H：位移量示值。

位移重复性

位移重复性不超过0.001mm。

倾角示值误差

倾角示值最大允许误差：±2倍倾角分辨力。

注：校准工作不判断合格与否，上述计量特性指标仅供参考。

校准条件

环境条件

环境温度：（20±2）℃，且温度变化不大于1℃/h。相对湿度：不大于75%。校准场所照明条件稳定、无影响示值的空气扰动、振动、电磁干扰等因素。

测量标准及其他设备

推荐使用表1所列仪器，允许使用其他满足测量不确定度要求的测量标准。

表1测量标准及其他设备

序号

设备名称

技术要求

1

激光干涉仪

MPE：±（0.03μm+1.5?10-6L）

2

分度头

MPEV：20″

校准项目和校准方法

检查外观及各部分相互作用，确定没有影响计量特性的因素后再进行校准。被检激光平直度测量仪在室内温度平衡时间不少于1h。

位移示值误差

将激光平直度测