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飞秒激光微精细加工中微量物质转移的机制、影响因素及应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，电子、汽车、航空航天、生物医药、新能源等众多领域对微精细加工技术的需求日益迫切。激光微加工技术作为一种先进的加工手段，凭借其非接触式加工、高精度、高效率、无污染以及可加工多种材料等显著优点，在众多领域中得到了广泛的关注和应用。而在激光微加工领域，飞秒激光技术因其独特的优势，如超短脉冲、高精度等，成为了研究的热点之一。

飞秒激光的脉冲宽度极短，通常在飞秒量级（1飞秒=10^{-15}秒）。在如此短的时间尺度内，飞秒激光与物质相互作用时，电子来不及将能量传递给晶格，从而在材料表面生成众多等离子体，能量伴随着材料的去除而消散，出现强烈的烧蚀效果。这种独特的作用机制使得飞秒激光加工具有诸多传统激光加工无法比拟的优势，如加工精度高，不受光的衍射极限的限制，具有很高的空间分辨性；加工的组织中没有熔融区，没有重铸层，不产生微裂纹，实现了相对意义上的“冷”加工，大大减弱和消除了传统加工中热效应带来的诸多负面影响；对材料没有选择和限制性，可以对任何材料进行精细加工、修复和处理；加工需要的脉冲能量阈值极低，一般只有毫焦耳量级，决定了加工的能量低耗性等。

在实际应用中，飞秒激光微精细加工技术已在多个领域展现出巨大的潜力和价值。在电子领域，可用于制造超精细的集成电路、微机电系统（MEMS）等，有助于提高电子器件的性能和集成度；在航空航天领域，能够对航空发动机的关键零部件进行高精度加工，提升发动机的效率和可靠性；在生物医药领域，作为超精密外科手术刀，可用于视力矫正手术、无痛牙科治疗等，既能减少组织损伤又不会留下手术后遗症，甚至可对单个细胞动精密手术或者用于基因疗法；在材料制备方面，应用于脉冲激光沉积领域，可以进行新材料薄膜制备。

然而，由于飞秒激光微加工时存在离子化、膨胀和坍塌等复杂的物理和化学现象，导致材料损伤不可避免，且加工效度低。其中，微量物质转移作为飞秒激光微加工过程中的一个关键环节，对加工质量和效率有着重要影响。深入研究微量物质转移规律及其机理，对于进一步提高飞秒激光加工技术的效率和精度，拓展其应用领域具有至关重要的意义。通过掌握微量物质转移的规律，可以优化加工工艺参数，减少材料损伤，提高加工精度和质量，从而推动飞秒激光微精细加工技术在更多领域的广泛应用，为相关产业的发展提供有力的技术支持。

1.2国内外研究现状

在飞秒激光微精细加工微量物质转移的研究方面，国内外学者已取得了一系列重要进展。

国外研究起步较早，在理论和实验研究方面都处于领先地位。在理论研究方面，前苏联AnisimovSI等人于1975年第一次提出了超短脉冲烧蚀金属材料的双温模型。该模型从一维非稳态热传导方程出发，考虑到超短脉冲作用时，存在光子与电子、电子与晶格两种不同的相互作用过程，列出了电子与晶格的温度变化微分方程，即双温方程。一些学者以该模型为基础，在不同的激光脉宽下对双温方程进行约化，求得解析解，发现当激光脉宽远远小于晶格的受热时间时，烧蚀时间不依赖于激光脉宽。1999年，FalkovskyLA和MishchenkoEG基于玻尔兹曼方程和费米狄拉克配分函数提出热电子爆炸模型来描述金属材料中的超快形变。2002年，chenJK等人综合双温模型及电子爆炸模型，假定单轴应变三维高压条件，提出了一系列相关联的瞬时热弹性变形方程。数值结果表明，超短激光脉冲烧蚀过程中，非熔融态损伤占支配地位，这种非熔融态损伤的主要动力来源于热电子爆炸力。

在实验研究方面，国外学者对飞秒激光诱导金属薄膜前向转移进行了系统研究。如对铜薄膜飞秒激光诱导向前转移（fs-LIFT）的能量阈值、沉积点尺寸与激光能量和“源”膜厚度的关系、激光能量和接收距离对沉积点形貌和尺寸的影响等进行了深入研究。实验结果表明，在阈值能量时，较薄铜“源”膜的自由表面处于熔融态，而较厚铜“源”膜的自由表面处于固态，材料主要以液态形式转移；在阈值能量时，不存在“源”膜厚度越小，沉积点尺寸越小的规律；当激光能量相对较小，刚达到阈值能量附近时，沉积点呈现滴的形貌，随着能量的增加，沉积点呈现出岛状的形貌，对于较高的能量，沉积点呈现出环状形貌；在接收距离为几十个微米的范围内，当铜膜厚度相对较薄时，沉积点的直径与接收距离成反比，而当铜膜厚度相对较厚时，沉积点的直径与接收距离成正比。

国内在飞秒激光微精细加工微量物质转移研究方面也取得了一定成果。在理论研究方面，国内学者对飞秒激光与金属、电介质以及聚合材料作用过程进行了深入研究，采用多种模型实现对作用过程的描述。在实验研究方面，搭建了飞秒激光微加工系统，对不同材料进行微加工实验，利用高分辨显微镜观察微