2026年危险化学品重点县专家指导服务自查表.xlsxVIP

序号 检查内容 检查依据

（五）多晶硅企业重点检查项

174 1.硅粉上料采用气力管输方式时，应采用氮气作气源；硅

粉加料缓冲罐应充入氮气保护，并采取防止高压窜入低压的

措施。

2.三氯氢硅合成硅粉受料罐压力、料位监测及联锁；

3.三氯氢硅合成炉温度、压力监测和高报警，温度高高联锁、

压力高高联锁；

4.三氯氢硅合成炉冷却系统温度、压力监测和高报警，压力

高高联锁；

5.三氯氢硅合成洗涤塔温度、压力、液位监测，温度、压力

高报警和液位高、低报警；

6.设置三氯氢硅合成炉紧急停车按钮，并能在控制室实现远

程操作。 《多晶硅安全生产规范》（AQ

3065-2025）第5.1.2.1、5.1.2.2、

5.1.2.3条

175 1.应对树脂催化剂作用下的二氯二氢硅反歧化过程开展安

全风险评估，树脂催化剂不应含有受热易分解基团。

2.反应器内的树脂催化剂使用前应进行充分干燥，水含量应

不大于0.2%(质量分数)，催化剂的装填系数应不大于

0.85。

3.干燥树脂催化剂时，干燥温度不应高于100℃,氧含量和

露点应符合4.2.6的规定。

4.树脂催化剂正式使用前应先用低温液相四氯化硅活化，按

照温度不高于60℃、温升不大于20℃/h速率浸泡并

保持24h以上；温度或温升超限时，应通过氮气或冷物料

循环等方式强制降温。

5.反应器进料温度应不高于70℃,反应温度应不高于

90℃。 《多晶硅安全生产规范》（AQ

3065-2025）第5.4.1、5.4.2、

5.4.3、5.4.4、5.4.5条

176 1.流化床反应器应采取以下控制措施：1）温度、压力监测和高报警，温度、压力高高联锁；

2）设置紧急停车按钮，并能在控制室实现远程操作。

2.流化床反应器出口尾气管道应设置分离设施，去除夹带的

硅粉。

3.流化床反应器内应设置应急氮气充入设施，应急氮气充入

设施应能实现远程控制。 《多晶硅安全生产规范》（AQ3065-2025）第5.6.1、5.6.2、5.6.3条

178 1.应根据GB36894和GB/T37243的规定核算硅烷储罐(包

括中间罐、缓冲罐等)存储量。

2.硅烷储罐储存系数应不大于0.8。

3.硅烷储罐顶部应设置应急喷淋系统和带有冷凝回收功能

的不凝气排放系统，系统应具备远程紧急泄压排放功能。

4.硅烷储罐泄放操作时，泄放量应不大于硅烷淋洗处理系统

的能力。

5.露天硅烷储罐区应设置火焰探测系统。 《多晶硅安全生产规范》（AQ

3065-2025）第6.2条

179 应采用万向管道充装系统装卸氯硅烷，万向管道充装系统应

采用具备锁定、防脱落和脱落自封闭功能的充装接头。 《多晶硅安全生产规范》（AQ

3065-2025）第4.1.13条

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