原创力文档磁控溅射仪器培训;CATALOGUE;01;溅射技术定义与特点;;;02;真空腔体与抽气系统;磁控靶材与电源配置;基片台配备机械夹具或静电吸附装置，部分型号支持旋转功能以提高薄膜厚度均匀性，适用于大面积基片处理。;03;;工艺参数设定规范;溅射过程监控要点;04
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