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多片式MOCVD温度控制系统的算法优化与应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体领域，多片式MOCVD（金属有机化学气相沉积，Metal-OrganicChemicalVaporDeposition）技术凭借其独特优势，成为制备高质量半导体材料的关键手段，在光电子、光伏以及半导体器件等众多领域发挥着不可或缺的作用。例如，在半导体照明产业中，通过MOCVD技术制备的氮化镓（GaN）基发光二极管（LED），实现了高效率、高亮度的蓝光、绿光、红光LED的制备，极大地推动了半导体照明产业的发展。在光电子器件领域，MOCVD技术也广泛应用于激光器、光探测器、光纤通信器