原创力文档《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》
（征求意见稿）
编制说明
一、工作简况
（一）任务来源
本文件由中国技术市场协会提出并归口，经中国技术市场协
会标准化工作委员会批准，正式列入2025年团体标准制修订计
划，标准名称为《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》。
（二）项目背景
中束流离子注入机作为半导体制造领域的核心掺杂设备，广
泛应用于集成电路、功率器件、半导体传感器等产品的生产
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