交叠衍射无镜成像技术：位相缺陷检测的原理、方法与应用探索.docx

交叠衍射无镜成像技术：位相缺陷检测的原理、方法与应用探索

一、引言

1.1研究背景

在现代光学领域，位相缺陷检测对于确保光学元件的性能和质量起着举足轻重的作用。随着科技的飞速发展，光学元件被广泛应用于高功率激光系统、天文观测、半导体光刻等诸多前沿领域，这些应用对光学元件的精度和质量提出了近乎严苛的要求。即使是极其微小的位相缺陷，也可能导致光束波前畸变，进而引发光能量分布不均匀、成像质量下降等一系列严重问题，最终对整个光学系统的性能产生极大的负面影响。例如，在高功率激光系统中，光学元件的位相缺陷可能会致使激光能量在传输过程中发生散射和损耗，降低激光的输出功率和光束质量，严重时甚至会损坏光学元