中束流离子注入机能量精度控制技术规范-编制说明.docx

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《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》

（征求意见稿）

编制说明

一、工作简况

（一）任务来源

本文件由中国技术市场协会提出并归口，经中国技术市场协会标准化工作委员会批准，正式列入2025年团体标准制修订计划，标准名称为《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》。

（二）项目背景

中束流离子注入机作为半导体制造领域的核心掺杂设备，广泛应用于集成电路、功率器件、半导体传感器等产品的生产过程，其能量精度控制水平直接决定了半导体器件的电学性能、可靠性及良率。随着半导体技术向先进制程不断演进，器件特征尺寸持续缩小，对离子注入的能量精度、束流稳定性等指标提出了更为严苛的要求。

当前，国内中束流离