1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 机械/仪表工业

中束流离子注入机能量精度控制技术规范-编制说明.pdf

中束流离子注入机能量精度控制技术规范-编制说明.pdf

    《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》

    （征求意见稿）

    编制说明

    一、工作简况

    （一）任务来源

    本文件由中国技术市场协会提出并归口，经中国技术市场协

    会标准化工作委员会批准，正式列入2025年团体标准制修订计

    划，标准名称为《中束流离子注入机能量精度控制技术规范》。

    （二）项目背景

    中束流离子注入机作为半导体制造领域的核心掺杂设备，广

    泛应用于集成电路、功率器件、半导体传感器等产品的生产

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >