深度解析(2026)《SJT 11491-2015短基线红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量》.pptxVIP

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目录

一、深度剖析SJ/T11491-2015标准：解码红外光谱技术精准测定硅晶圆间隙氧含量的核心机理与行业价值

二、从理论到实践：专家视角详解短基线法的物理基础与光谱解析模型，为何它是硅材料质量控制的关键？

三、精析标准操作全流程：从样品制备、仪器校准到光谱采集，每一步如何确保间隙氧测量数据的绝对可靠？

四、突破测量不确定度困局：深度解读标准中的误差来源分析与校正方法，迈向更高精度与重复性的未来

五、标准的技术演进与横向对比：短基线法相较于传统方法有哪些革命性优势？又面临哪些新的挑战？

六、直击产业应用痛点：专家解读标准在半导体单晶硅、光伏多晶硅及先进SOI晶圆中的差异化应用策