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一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法.pdf

一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法.pdf

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)(12)发明专利说明书

    (10)申请公布号CN114130054A

    (43)申请公布日2022.03.04

    (21)申请号CN202111219823.X

    (22)申请日2021.10.20

    (71)申请人青海丽豪半导体材料有限公司

    地址81010

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