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Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器的仿真案例分析
目录
TOC\o1-3\h\u14470Ⅰ型小尺寸MEMS压阻式压力传感器的仿真案例分析 1
14741.1挠度与应力仿真 2
29071.2电势与输出仿真 2
119231.3小结 4
本小节对该周边固支结构薄膜压力传感器的力学和电学特性进行了仿真分析。采用COMSOLMultiphysics软件进行结构建模，如图1.6所示，在不影响原始电学输出的基础上，为了更方便的建模，我们保留了薄膜和压阻的原本尺寸，构建了完整的电学连接结构。具体来说，在（a）图中黑色方框内为方形薄膜，边长为
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