《超精密气浮运动平台》征求意见稿.docx

T/XXXXXXX—XXXX

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超精密气浮运动平台

1范围

本文件规定了超精密气浮运动平台（以下简称“平台”）的技术要求、试验方法、检验规则及标识、包装、运输和贮存。

本文件适用于为高端半导体制造领域的量检测设备、光刻设备以及先进封装设备等配套的气浮式超精密运动平台的产品设计、生产、检验及验收。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191-2008包装储运图示标志

ISO14644-1:2015洁净室