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理论/研发/设计/制造
光伏电池片生产中排除扩散炉故障的实验研究
史君
(东南大学太阳能研究中心，南京210009)
摘要：在光伏电池片的生产过程中，扩散炉体的相关元器件经过频繁多次的使用致设备老化，常常会出现故障，使扩
散后，硅片方块电阻异常波动，致生产线的扩散环节出现很多异常问题，导致PN结质量下降。文中对扩散炉体零器件
老化、损坏而导致的方阻异常
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