宣贯培训(2026年)《GBT 14847-2010重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法》.pptxVIP

;

目录

一、深度剖析国际标准采纳背景与行业价值：GB/T14847-2010如何成为半导体产业链质量控制与工艺优化的基石性技术文件？

二、专家视角全景式从基础物理原理到精密测量系统，层层拆解红外反射法测量外延层厚度的核心科学内涵与理论框架。

三、直面测量实践中的核心与疑点：深入探究重掺杂衬底特殊光学性质对红外反射谱的影响机制及标准中给出的关键解决方案。

四、结合前沿趋势(2026年)深度解析测量系统构建：如何依据标准要求精准搭建、校准与验证红外反射光谱测量系统的硬件与软件模块？

五、标准核心操作流程的精细化指导与实战推演：逐步详解从样品制备、参数设置到光谱采集的每一步标准化操作规范与潜