基于柔顺机构的两自由度微位移精密定位平台：设计、分析与性能验证.docx

基于柔顺机构的两自由度微位移精密定位平台：设计、分析与性能验证

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科研领域，微位移定位技术发挥着至关重要的作用，是实现诸多高精度任务的关键支撑。从航空航天领域的零部件制造与装配，到生物工程中细胞、DNA的微观操作，再到微电子制造里芯片的加工与检测，微位移定位平台的身影无处不在，其性能优劣直接影响着相关工作的质量与效率。

在航空航天领域，飞行器的零部件制造精度要求极高，哪怕是微小的误差都可能在高速飞行或复杂环境下被放大，引发严重后果。微位移定位平台能够精准控制加工工具的位置，确保零部件的尺寸精度和表面质量，满足航空航天对零部件高性能、高可靠性的严格