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双压电陶瓷驱动：跨尺度定位平台的原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳技术已成为众多领域实现突破与创新的关键支撑。从生物医学领域的细胞操作与疾病诊断，到半导体制造中的纳米级芯片加工；从航空航天的精密仪器制造，到信息存储领域的超高密度存储技术，微纳技术的身影无处不在。随着微纳技术的不断进步，对微纳器件的制造与操作精度提出了前所未有的要求，跨尺度定位平台应运而生，成为微纳技术发展的核心装备之一。

传统的定位平台在面对微纳尺度的操作任务时，往往暴露出诸多局限性。例如，传统的机械驱动定位平台，虽然能够实现较大行程的运动，但由于机械结构的间隙、摩擦等因素，