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探秘ZnO基薄膜材料：结构、特性与p型掺杂的深度解析

一、引言

1.1ZnO基薄膜材料概述

ZnO基薄膜材料作为半导体领域的重要组成部分，近年来受到了广泛的关注和研究。ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族直接带隙宽禁带化合物半导体材料，在常温常压下，其稳定的晶体结构为六方纤锌矿结构，具有六方对称性，空间群是P63mc。这种结构中，晶格常量a约为3.25埃，c约为5.2埃，c/a比率接近1.633的理想六边形比例，每个锌或氧原子都与相邻原子组成以其为中心的正四面体结构。这种特殊的结构赋予了ZnO基薄膜材料许多优异的性能。

从物理性质上看，ZnO基薄膜材料呈现白色粉末或