用于放置石墨框高效缓冲板设计.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN201793732U*

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN201793732U

(45)授权公告日2011.04.13

(21)申请号201020517337.7

(22)申请日2010.09.02

(73)专利权人上海交大泰阳绿色能源有限公司

地址200240上海市闵行区剑川路951号

(72)发明人代同光孔慧凌晔

(74)专利代理机构上海汉声知识产权代理有限

公司31236

代理人郭国中

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

H01L31/18(2006.01)

权利要求书1页说明书2页附图2页

(54)实用新型名称

用于放置石墨框的缓冲板

(57)摘要

本实用新型涉及一种用于放置石墨框的缓冲

板，涉及硅片镀膜技术领域，所解决的是提高取

片效率及降低硅片镀膜层损伤率的技术问题。

所述石墨框呈网格状，该缓冲板包括基板，及固

定在基板上板面的与石墨框的各个网格相对应的

多个凸块，每个凸块的上端面均高于基板的上板

面，每个凸块的上端面均为倾斜于基板上板面的

平面，且每个凸块的上端面至少有一条边为向内

凹陷的凹边，每个凸块的上端面从凹边一侧朝向

该凹边对侧方向向下倾斜；每个凸块高度较低

一侧的高度低于石墨框的整体厚度，每个凸块高

度较高一侧的高度高于石墨框的整体厚度。本实

用新型提供的缓冲板，能提高操作人员的取片效

率，降低对硅片镀膜层的损伤率。

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CN201793732U权利要求书1/1页

1.一种用于放置石墨框的缓冲板，所述石墨框呈网格状，该缓冲板包括基板，及固

定在基板上板面的与石墨框的各个网格相对应的多个凸块，每个凸块的上端面均高于基

板的上板面，其特征在于：每个凸块的上端面均为倾斜于基板上板面的平面，且每个凸块

的上端面至少有一条边为向内凹陷的凹边，每个凸块的上端面从凹边一侧朝向该凹边对

侧方向向下倾斜。

2.根据权利要求1所述的用于放置石墨框的缓冲板，其特征在于：所述每个凸块较高

一侧的高度高于石墨框的整体厚度，每个凸块高度较低一侧的高度低于石墨框的整体厚

度。

3.根据权利要求1所述的用于放置石墨框的缓冲板，其特征在于：所述基板为具有

导热性的硬性板材。

4.根据权利要求3所述的用于放置石墨框的缓冲板，其特征在于：所述基板为铝

板。

5.根据权利要求1所述的用于放置石墨框的缓冲板，其特征在于：所述凸块为硬性

有机树脂材质。

6.根据权利要求5所述的用于放置石墨框的缓冲板，其特征在于：所述凸块为聚四

氟乙烯。

2

CN201793732U说明书1/2页

用于放置石墨框的缓冲板

技术领域

[0001]本实用新型涉及硅片镀膜的技术，特别是涉及一种用于放置石墨框的缓冲板的

技术。

背景技术

[0002]薄膜硅太阳能电池生产时，都将待镀膜的各硅片放置在网格状石墨框的各个网

格内，再采用化学气相沉积(CVD)方法在各硅片上镀膜，镀膜完成后由人工将石墨框放

置到缓冲板上，再由人工将各个硅片从石墨框的各个网格内取出。

[0003]如图3、图4所示，目前的薄膜硅太阳能电池生产中，放置石墨框的缓冲板都采

用铝板作为基板21，在基板21的板面上固定有与石墨