T∕ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材.docxVIP

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ZZB

浙江制造团体标准

T/ZZB0639—2018

氧化锌铝磁控溅射靶材

Alumiumdopedzincoxidemagnetronsputteringtargets

2018-10-19发布2018-11-01实施

浙江省品牌建设联合会发布

I

T/ZZB0639—2018

目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4基本要求 1

5技术要求 2

6试验方法 4

7检验规则 5

8标志、、 包装运输和贮存6

9质量承诺 7

附录A（规范性附录）氧化锌铝靶材失氧率测定方法 8

II

T/ZZB0639—2018

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口。

本标准由宁波市标准化研究院牵头组织制定。

本标准主要起草单位：宁波森利电子材料有限公司。

本标准参与起草单位：宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司（排名不分先后）。

本标准主要起草人：杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈。

本标准由宁波市标准化研究院负责解释。

T/ZZB0639—2018

1

氧化锌铝磁控溅射靶材

1范围

本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。

本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T191包装储运图示标志（GB/T191—2008，ISO780：1997，MOD）

GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T1410固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法（GB/T1410—2006，IEC60093：1980，IDT）

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T7234产品几何量技术规范(GPS)圆度测量术语、定义及参数

GB/T7235产品几何量技术规范(GPS)评定圆度误差的方法半径变化量测量

GB/T8651金属板材超声板波探伤方法

GB/T11336直线度误差检测

GB/T11337平面度误差检测

GB/T11942彩色建筑材料色度测量方法

GB/T12969.1钛及钛合金管材超声波探伤方法

GB/T13298金属显微组织检验方法

GB/T20967无损检测目视检测总则

GB/T23768无机化工产品火焰原子吸收光谱法通则

GB/T25995精细陶瓷密度和显气孔率试验方法（GB/T25995—2010，ISO18754：2003，MOD）

GB/T30905无机化工产品元素含量的测定X射线荧光光谱法

YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法

JC/T2201—2013镀膜玻璃用靶材

3术语和定义

JC/T2201—2013界定的术语和定义适用于本文件。

4基本要求

T/ZZB0639—2018

2

4.1设计研发

4.1.1具备不同掺杂类型靶材的成分设计、小尺寸靶材快速制备以及镀膜与薄膜性能验证的能力。

4.1.2具备批量化纳米级粉体原料的表面修饰与高浓度分散的能力。

4.1.3具备大尺寸坯体的高致密成型与低温致密烧结的能力。

4.1.4具备生产优化以及提升生产效率的能力。

4.2原材料

氧化锌以及氧化铝原料粉体的化学成分应分别符合表1和表2的规定。

表1氧化锌粉体原料的化学成分表

项目

指标值

氧化锌粉体的质量分数不小于，wt%

99.98

金属杂质质量分数不大于，wt%

Pb

0.002

Cu

0.001

Cd

0.001

Mn

0.001

Fe

0.002

其它

0.013

注：氧化锌的