CN114121677B 一种fdsoi器件的沟道制作工艺优化方法 （澳芯集成电路技术(广东)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN114121677B(45)授权公告日2022.05.27

(21)申请号202210096839.4

(22)申请日2022.01.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN114121677A

(43)申请公布日2022.03.01

(73)专利权人澳芯集成电路技术(广东)有限公司

地址510000广东省广州市黄埔区香雪大

道中85号1601-1607房

专利权人广东省大湾区集成电路与系统应用研究院

(72)发明人贺鑫叶甜春朱纪军罗军李彬鸿赵杰

(74)专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260

专利代理师苗雨

(51)Int.CI.

HO1L21/336(2006.01)

HO1L29/786(2006.01)

(56)对比文件

US2003162358A1,2003.08.28

US5814544A,1998.09.29

CN106601617A,2017.04.26

CN102263132A,2011.11.30

CN102117750A,2011.07.