深度解析(2026年)GBT 34326-2017《表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法》.pptxVIP

;

目录

一、离子束技术作为深度剖析的“雕刻刀”：专家视角揭秘其核心原理与在AES/XPS中的不可替代性

二、从模糊到清晰：深度剖析分辨率为何如此重要？专家深度剖析离子束对准偏差对界面信息“失真”的致命影响

三、寻找“零点”：深度剖析AES与XPS中离子束与电子束/射线束空间对准的五大关键方法与实战难点破解

四、束流还是束流密度？一个关乎深度标尺准确性的根本抉择——深度解读两种物理量的本质差异与应用场景

五、拒绝“纸上谈兵”：专家手把手指导法拉第杯测量离子束流的全流程、误差源控制与设备选型核心要点

六、超越传统测量：前沿展望离子束流密度分布的先进测量技术（如栅网法、探针扫描