CN111174685B 柔性应变传感器及其制作方法 （北京纳米能源与系统研究所）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN111174685B(45)授权公告日2022.06.07

(21)申请号201811330471.3

(22)申请日2018.11.09

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111174685A

(43)申请公布日2020.05.19

(73)专利权人北京纳米能源与系统研究所

地址101400北京市怀柔区雁栖经济开发

区杨雁东一路8号

(72)发明人潘曹峰鲍容容李静

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

专利代理师任岩(51Int.CL.

GO1B7/16(2006.01)

(56)对比文件

CN108444377A,2018.08.24

CN106482628A,2017.03.08

WO2018203658A1,2018.11.08

KR20160104921A,2016.09.06

JP2007033050A,2007.02.08

CN105627905A,2016.06.01

WO2011065100A1,2011.06.03

JingLi等.Recentp