深度解析(2026年)GBT 34971-2017《半导体制造用气体处理指南》：构建尖端工艺的安全与纯净基石.pptxVIP

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目录

一、前瞻性解读GB/T34971-2017：专家视角剖析半导体气体处理的核心框架与未来产业安全范式

二、超越纯度的竞赛：(2026年)深度解析标准中电子级气体质量的全生命周期控制逻辑与关键技术指标

三、输送系统的“隐形战场”：专家深度剖析管道、阀件与接头在防止气体污染与泄漏中的设计哲学

四、从钢瓶到工艺腔室：全程追踪气体输送的风险管控图谱与标准中的实战化解决方案

五、“零容忍”的安全红线：结合重大案例，深度解读标准中关于有毒、可燃、腐蚀性气体的特殊管理规范

六、智能化与数字化前瞻：解析标准如何为未来半导体工厂的气体管理系统融入IoT与大数据预留接口

七、不止于文本：专家