CN111403593A 一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法 （北京信息科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111403593A

(43)申请公布日2020.07.10

(21)申请号202010119779.4

(22)申请日2020.02.26

(71)申请人北京信息科技大学

地址100101北京市朝阳区北四环中路35

号

(72)发明人王宏伟黄启国

(74)专利代理机构北京君尚知识产权代理有限公司11200

代理人邱晓锋

(51)Int.CI.

H01L41/09(2006.01)

H01L41/04(2006.01)

H01L41/338(2013.01)

权利要求书1页说明书6页附图8页

(54)发明名称

一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法

金属板Z

金属板

Z

空气夹缝

陶瓷小柱

陶瓷基底

电极

CN111403593A本发明涉及一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电小柱中填充的聚合物更换为空气，可使换

CN111403593A

CN111403593A权利要求书1/1页

2

1.一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件，其特征在于，包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。

2.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述柔性材料层为硅橡胶，通过硅橡胶将各敏感模块粘接在一起。

3.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述带基底的压电小柱阵列采用的压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

4.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述敏感模块的外形为下列中的一种：正方形、长方形、圆形、方环、圆环。

5.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述基底的下表面镀有电极。

6.一种制备权利要求1所述用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件的方

法，其特征在于，包括以下步骤：

沿着X方向切割已在厚度方向极化的上下表面镀有电极的压电材料片；

沿着Y方向切割压电材料片，形成带基底的压电小柱阵列；

在压电小柱阵列的上表面粘接金属板，形成敏感模块；

将至少两个敏感模块拼接在一起，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设置柔性材料层。

7.根据权利要求6所述的敏感元件，其特征在于，所述柔性材料层为硅橡胶，通过硅橡胶将各敏感元件单元粘接在一起。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

9.一种水声换能器，其特征在于，包括权利要求1～5中任一权利要求所述的用于制作高灵敏度水声换能器的敏感元件，所述敏感元件的上下表面引出电极引线，所述敏感元件的下表面粘接吸声层和金属后盖板，所述敏感元件、吸声层和金属后盖板外部设有防水透声层。

10.根据权利要求9所述的水声换能器，其特征在于，所述吸声层为硬质泡沫，所述金属后盖板的材质为不锈钢，所述防水透声层采用聚氨酯胶封并固化形成。

CN111403593A说明书1/6页

3

一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法

技术领域

[0001]本发明属于压电材料、水声换能器技术领域，具体涉及一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的压电材料和空气组成的敏感元件及其制备方法。

背景技术

[0002]目前水声换能器的研究主要集中在以下几个方面：(1)进一步降低工作频率(这主要是针对低频换能器),增大发射声功率，以增加换能器发、收声波的传播距离。(2)拓展换能器的工作带宽。(3)提高换能器的灵敏度，即提高换能器的机电转换性能，也就是提高发射电压响应和接收灵敏度。提高发射电压响应可以增加换能器发射声波