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集成电路制造工艺.pptx

集成电路制造工艺.pptx

    集成电路制造工艺;;;01;;;;摩尔定律解析与应用;02;;双极型集成电路流程;CMOS工艺流程特点;芯片组装与测试环节;03;;通过外延生长制备，具有完美的金刚石晶格结构，载流子迁移率高，是MOSFET沟道的核心材料。其电阻率可通过掺杂浓度精确调控。;金属薄膜应用场景;薄膜质量参数检测;04;CVD基本原理概述;APCVD工艺特点;LPCVD设备与操作;;05;;溅射技术分类;磁控溅射优势;;06;;;湿氧氧化流程;高压氧化应用;07;;;曝光技术发展;分辨率提升方法;08;湿法刻蚀特点

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