CN111403593B 一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法 （北京信息科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN111403593B公告日2021.02.19

(21)申请号202010119779.4

(22)申请日2020.02.26

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN111403593A

(43)申请公布日2020.07.10

(73)专利权人北京信息科技大学

地址100101北京市朝阳区北四环中路35

号

(72)发明人王宏伟黄启国

(74)专利代理机构北京君尚知识产权代理有限公司11200

代理人邱晓锋

(51)Int.CI.

HO1L41/09(2006.01)

HO1L41/04(2006.01)

H01L41/338(2013.01)

(56)对比文件

CN203787081U,2014.08.20

CN104505075A,2015.04.08

CN105127081A,2015.12.09

CN109569999A,2019.04.05

US4485321A,1984.11.27

KaiZhangetal..ResearchontheBroadbandDual-excitedUnderwater

AcousticTransducer”.《Advanced

EngineeringForum》.2011,第2-3卷144-147.

王宏伟.“一种高频宽带水声换能器的研制”.《传感技术学报》.2016,第29卷(第5期),665-669.

审查员朱军

权利要求书1页说明书6页附图8页

(54)发明名称

一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法

金属板Z

金属板

Z

空气夹缝陶瓷小柱

陶瓷基底

电极

CN111403593B本发明涉及一种用于制作高频宽带高灵敏度水声换能器的敏感元件及其制备方法。该敏感元件包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。利用该敏感元件，可进一步制作水声换能器。本发明将压电小柱中填充的聚合物更换为空气，可使换

CN111403593B

CN111403593B权利要求书1/1页

2

1.一种用于制作水声换能器的敏感元件，其特征在于，包括至少两个敏感模块，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块的厚度使得各敏感模块产生频带叠加；各敏感模块之间设有柔性材料层；每个敏感模块包含带基底的压电小柱阵列，以及固定安装在压电小柱阵列的上表面的金属板，所述压电小柱阵列中压电小柱之间的缝隙内填充空气。

2.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述柔性材料层为硅橡胶，通过硅橡胶将各敏感模块粘接在一起。

3.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述带基底的压电小柱阵列采用的压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

4.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述敏感模块的外形为下列中的一种：正方形、长方形、圆形、方环、圆环。

5.根据权利要求1所述的敏感元件，其特征在于，所述基底的下表面镀有电极。

6.一种制备权利要求1所述用于制作水声换能器的敏感元件的方法，其特征在于，包括以下步骤：

沿着X方向切割已在厚度方向极化的上下表面镀有电极的压电材料片；

沿着Y方向切割压电材料片，形成带基底的压电小柱阵列；

在压电小柱阵列的上表面粘接金属板，形成敏感模块；

将至少两个敏感模块拼接在一起，各敏感模块自内向外依次套接，各敏感模块的厚度自内向外依次减小，各敏感模块之间设置柔性材料层。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述柔性材料层为硅橡胶，通过硅橡胶将各敏感元件单元粘接在一起。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述压电材料为压电陶瓷或压电单晶。

9.一种水声换能器，其特征在于，包括权利要求1～5中任一权利要求所述的用于制作水声换能器的敏感元件，所述敏感元件的上下表面引出电极引线，所述敏感元件的下表面粘接吸声层和金属后盖板，所述敏感元件、吸声层和金属后盖板外部设有防水透声层。

10.根据权利要求9所述的水声换能器，