CN111174685A 柔性应变传感器及其制作方法 （北京纳米能源与系统研究所）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111174685A

(43)申请公布日2020.05.19

(21)申请号201811330471.3

(22)申请日2018.11.09

(71)申请人北京纳米能源与系统研究所

地址100083北京市海淀区学院路30号天

工大厦C座

(72)发明人潘曹峰鲍容容李静

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021

代理人任岩

(51)Int.CL.

GO1B7/16(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图8页

(54)发明名称

CN111174685A

CN111174685A

(57)摘要

本发明公开了一种柔性应变传感器，包括：衬底；以及金属薄膜层，所述金属薄膜层形成在衬底上；其中，所述衬底的厚度为10μm-25μm。根据本发明公开的应变传感器，金属薄膜层可以快速灵敏地对外界应变进行响应，而且采用厚度为10μm-25μm的衬底具有更优异的机械顺从性，从而对于应变刺激具有更高的灵敏度，能够快速灵敏地对应变刺激进行响应。

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