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- 2026-02-11 发布于河北
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ICS31.030CCSQ50/59
团体标准
T/CASAS036—2025
碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测
定方法辉光放电质谱法
Testmethodforpurityofiso-staticgraphitecomponentsusedinthe
growthofsiliconcarbidesinglecrystals-Glowdischargemass
spectrometry
2025-04-23发布
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