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- 2026-02-13 发布于云南
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一、从纳米到晶圆：深度剖析电子级氧气的“极限纯度”定义及其在未来先进制程中的决定性角色与专家视角下的技术挑战
（一）GB/T14604-2009如何界定“电子工业用氧”？——与工业级、医用级的本质区别探微
在电子工业领域，氧气绝非简单的助燃气体。GB/T14604-2009开宗明义，将其定义为用于电子工业制备、加工等工艺的高纯度氧气，其核心价值在于“纯度”与“特定杂质控制”。相较于工业氧关注主要成分浓度，电子级氧对痕量杂质（如水分、碳氢化合物、金属离子）的容忍度达到ppb（十亿分之一）甚至ppt（万亿分之一）级，这是它与工业氧、医用氧在标准体系和品质要求上的根
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